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于汽車、能源、、信息、光電和通信等產業的蓬勃發展，即墨磨加工，超精密加工機的需求急劇增加，在工業界的應用包括非球面光學鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板加工、半導體晶片切割等。在這一時期，超精密加工設備的相關技術，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟，超精密加工設備變為工業界常見的生產機器設備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產型設備。此外，設備精度也逐漸接近納米級水平，加工行程變得更大，加工應用也逐漸增廣，除了金剛石車床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術也被開發出來，雙面研磨加工，并且可以加工非軸對稱非球面的光學鏡片。
以金剛石切削為例。其刀刃口圓弧半徑一直在向更小的方向發展。因為它的大小直接影響到被加工表面的粗糙度，與光學鏡面的反射率直接有關，外圓磨加工，對儀器設備的反射率要求越來越高。如激光陀螺反射鏡的反射率已提出要達到99.99%，這就必然要求金剛石刀具更加鋒利。為了進行切極薄試驗，目標是達到切屑厚度nm，內圓磨加工，其刀具刃口圓弧半徑應趨近2.4nm。為了達到這個高度，促使金剛石研磨機改變了傳統的結構。其中主軸軸承采用了空氣軸承作為支承，研磨盤的端面跳動可在機床上自行修正。
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